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FS5001L 系列气体流量传感器
FS5001L系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
测量范围：200SCCM，500SCCM，1000SCCM，4000SCCM，6000SCCM 可选。
测量范围：200SCCM，500SCCM，1000SCCM，4000SCCM，6000SCCM 可选。